无尘室洁净等级有哪些—无尘室各种洁净级别的介绍-凯发平台
无尘室又称洁净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个无尘室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用大颗粒大小来厘定的。别的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物)，更在意的是无尘室中的灰尘。
无尘的定义为：将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。亦即：这个环境中的微尘粒子相当少，称之为净室。无尘室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。
无尘室洁净等级有哪些—无尘室各种洁净级别的介绍
美国标准：
| 级别 | 0.1 µm | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 1 µm | 5 µm |
| 1 | 35 | 7 | 3 | 1 | ； | ； |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | 1 | ； |
| 100 | 3500 | 750 | 300 | 100 | 10 | 1 |
| 1，000 | ； | ； | ； | 1，000 | 100 | 7 |
| 10，000 | ； | ； | ； | 10，000 | 1，000 | 100 |
| 100，000 | ； | ； | ； | 100，000 | 10，000 | 1，000 |
iso 14644-1标准：
| 级别 | 0.1 µm | 0.2 µm | 0.3 µm | 0.5 µm | 1 µm | 5 µm |
| iso 1 | 10 | 2 | ； | ； | ； | ； |
| iso 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ； | ； |
| iso 3 | 1，000 | 237 | 102 | 35 | 8 | ； |
| iso 4 | 10，000 | 2，370 | 1，020 | 352 | 83 | ； |
| iso 5 | 100，000 | 23，700 | 10，200 | 3，520 | 832 | 29 |
| iso 6 | 1，000，000 | 237，000 | 102，000 | 35，200 | 8，320 | 293 |
| iso 7 | ； | ； | ； | 352，000 | 83，200 | 2，930 |
| iso 8 | ； | ； | ； | 3，520，000 | 832，000 | 29，300 |
| iso 9 | ； | ； | ； | 35，200，000 | 8，320，000 | 293，000 |
无尘室标准比较表：
| iso 14644-1 | 美国每立方呎颗粒数 |
| iso 3 | 1 |
| iso 4 | 10 |
| iso 5 | 100 |
| iso 6 | 1，000 |
| iso 7 | 10，000 |
| iso 8 | 100，000 |